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據悉,項目一期建設主流CMOS工藝12英寸晶圓生產線,二期建設格羅方德最新的22FDX22nmFD-SOI工藝12英寸晶圓生產線,總產量將達到每月8.5萬片晶圓片。除了主生產廠房外,項目還包括中央動力廠房、廠務設施罐區(qū)、辦公用房等區(qū)域。
“這么大規(guī)模的晶圓代工廠,從世界范圍來看都是十分少見的。”袁明說,此前,建設方前往新加坡等地的晶圓代工廠進行過考察,從建設體量規(guī)模來說,格羅方德成都項目都遠超上述晶圓代工廠。
據了解,Fab11項目包括至少3類重點建筑:囊括百級潔凈車間的FAB廠房類建筑;制備、儲存、處理有毒化學氣體及液體的氣體站及危險品庫類建筑;進程高低壓變配及輸送管理的變電站及動力廠房類建筑。
據悉,以上3類建筑均有各自的專業(yè)標準和要求,部分標準遠超國標,直接沿用國際標準。
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